Herstellung von Siliziumwefern

purified graphite flat resistor Mersen
graphite heater DSS furnace Mersen
graphite heater CZ method Mersen

Hochreiner Graphit für CZ-Kristallziehanlagen und DSS-Öfen

Mersen bietet nachhaltige und effiziente Lösungen, die die Reinheit der Wafer und die Kontrolle der Heißzonen bei der Kristallisierung garantieren.

Mersen bietet außerdem Anlagen und Teile, die den strengen Vorgaben dieser Industrie entsprechen.

  • Schmelztiegel aus gereinigtem Graphit
  • Heizung aus gereinigtem Graphit
  • Zylindrische Wärmedämmung aus Graphit oder Kohlefaserverbundstoff
  • Isolation aus flexiblem Filz oder steifen Kohlefaserverbundstoff für einen kontrollierten Temperaturgradienten beim Kristallziehen.
  • Schrauben aus Kohle/Kohlefaserverbundstoff
  • Graphitwärmetauscher
     

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