Herstellungsprozesse für Siliziumwafer

rigid insulation cylinder Mersen
insulation CZ method Mersen
Calcoat insulation Mersen
insulation DSS system Mersen

Hochtemperaturisolation für CZ-Kristallziehanlagen und DSS-Öfen

Mersen bietet nachhaltige und effiziente Lösungen, die die Reinheit der Wafer und die Kontrolle der Heißzonen bei der Kristallisierung garantieren.

Mersen bietet außerdem Anlagen und Teile, die den strengen Vorgaben dieser Industrie entsprechen.

  • Schmelztiegel aus gereinigtem Graphit
  • Heizelemente aus gereinigtem Graphit
  • Zylindrische Wärmedämmung aus Graphit oder Kohlefaserverbundstoff
  • Isolation aus flexiblem Filz oder steifem Kohlefaserverbundstoff für einen kontrollierten Temperaturgradienten beim Kristallziehen.
  • Schrauben aus Kohle/Kohlefaserverbundstoff
  • Graphitwärmetauscher

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