Halbleiter-Prozessanlagen

ultra pure graphite Mersen
MOCVD expitaxy graphite tools Mersen
fine grain graphite Mersen
semicondutor equipment Mersen

Werkzeuge aus hochreinem Graphit in der Halbleiter-, Verbindungshalbleiter- und Photovoltaikindustrie

Epitaxy und MOCVD

Für die Abscheidung dünner Schichten, beispielsweise durch Epitaxie oder metallorganische Abscheidung aus der Gasphase (MOCVD) liefert Mersen ultrareine Graphitprodukte als Halter für die Substrate oder „Wafer“.

Im Zentrum des Prozesses sind diese Anlagen, Suszeptoren für die Epitaxie oder Satellitenplattformen für MOCVD den Anforderungen der Abscheidungsumgebung ausgesetzt:

  • Hochtemperatur
  • Hochvakuum
  • Aggressive, gasförmige Vorläufersubstanzen
  • Kontaminationsfreiheit, kein Abschälen
  • Beständigkeit gegen starke Säuren während der Reinigung

Kontakt in